Fokus pada Industri Gas Khusus

Gas elektronik termasuk gas khusus elektronik dan gas pukal elektronik.Ia adalah bahan penting dan penting dalam proses pembuatan litar bersepadu, panel paparan, lampu semikonduktor, fotovoltaik dan industri lain.Gas khusus elektronik adalah bahan sokongan yang diperlukan untuk pembuatan litar bersepadu.Ia digunakan secara meluas dalam fotolitografi, etsa, pembentukan filem, pembersihan, doping, pemendapan dan pautan proses lain.Mereka mempunyai keperluan yang tinggi untuk ketulenan, kestabilan, bekas pembungkusan, dll. , yang dikenali sebagai "makanan" dan "darah" industri semikonduktor.Pembuatan litar bersepadu melibatkan beribu-ribu proses, yang sangat kompleks dan memerlukan penggunaan ratusan gas khusus elektronik.Dalam pembuatan litar bersepadu, gas elektronik boleh dibahagikan kepada gas doping, gas implantasi ion, gas pembersih, gas etsa dan gas fotolitografi mengikut proses yang berbeza;gas elektronik digunakan secara meluas dan mempunyai keperluan teknikal yang tinggi.Sumber dan sistem bekalannya mempunyai keperluan yang mendesak.Ketulenan gas ialah parameter teras produk gas khas, yang memerlukan ultratulen dan ultrabersih.Ultratulen memerlukan ketulenan gas untuk mencapai 4.5N, 5N atau bahkan 6N atau 7N.Setiap kali ketulenan meningkat sebanyak satu N dan setiap kali kepekatan zarah dan kekotoran logam berkurangan dengan satu urutan magnitud, ketulenan gas akan meningkat dengan satu urutan magnitud.Membawa peningkatan yang ketara dalam kerumitan dan kesukaran proses.Untuk gas bercampur, ketepatan perkadaran adalah parameter teras.Apabila komponen produk meningkat dan ketepatan penyediaan meningkat, pembekal gas selalunya dikehendaki melakukan operasi yang tepat pada komponen gas dengan pelbagai kepekatan tahap ppm atau ppb.